IS 40F1是IS 40C1离子源的升级款，包含了束流聚焦功能。其功能也是用于样品表面溅射清洁。通过调节聚焦能量参数，可以实现溅射范围大小的调节。
主要参数：
| 安装法兰 | DN 40CF (non-rotatable) |
| 能量范围 | 0.12 keV – 5 keV |
| 电流密度 | > 200 μA/cm2 (for distance 30 mm) |
| 屏蔽罩 | Cu, stainless steel (for reactive gases) |
| 阴极种类 | yttrium oxide coated iridium filament |
| 真空内长度 | min. 143 mm, other on request OD: max. 37 mm |
| FWHM | dependent on ion energy and working distance (e.g. 1.4 mm for distance 60 mm, 3 mm for distance 150 mm) |
| 典型工作距离 | 30 – 250 mm |
| 烘烤温度 | up to 250°C |
| 工作气压 | 10-5 – 10-6 mbar |
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