真空系统及部件

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扫描离子源IS40E1

上架时间:2024-03-10
浏览次数:473
产品品牌:PreVac
产品型号:IS 40E1
产品价格:¥
产品详情

        IS 40E1是一款扫描离子源。可以在一定区域内对样品表面进行扫描式溅射(工作距离23 mm时,扫描范围为10 mm x 10 mm)。它特别适用于 XPS、ISS 和 SIMS 的深度剖析(depth profiling)。该离子源还可像IS 40C1一样单纯用于样品表面清洁。它可与反应性气体(如 O2、H2、碳氢化合物等)以及所有惰性气体配合使用。

主要参数:

安装法兰DN 40CF (rotatable)
气体种类Ar and reactive gases (O2, H2, hydrocarbons with reduced lifetime)
能量范围0.15 keV – 5 keV
扫描范围10 mm x 10 mm (for working distance of 23 mm)
电流密度up to 4 mA / cm2 (for distance 23 mm)
束流> 1 μA (for distance 23 mm)
阴极类型yttrium oxide coated iridium filament
cone角度50°
真空内长度163 mm (standard), OD: 34 mm
FWHMdependent on working distance
(e.g. < 150 μm for distance 23 mm)
常规工作距离23 – 120 mm
烘烤温度250 °C
工作气压10-8 mbar (with max beam current)


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